“没问题。”林远拿出一个加密硬盘，“这里面是我们用AI生成的，针对ASmLNxt:2000i机型的测试掩膜版数据。你们可以去实验室跑一下。”
ASmL光刻实验室。
这里是全球最洁净的地方，空气洁净度达到ISoclass1标准。
工程师将林远提供的数据导入光刻机的控制系统。
激光源启动，波长193nm的深紫外光，穿过复杂得如同外星迷宫般的掩膜版，投射到涂满光刻胶的晶圆上。
显影，定影，电子显微镜扫描。
当图像出现在屏幕上时，马丁倒吸了一口凉气。
屏幕上，是一排排整齐的鳍式场效应晶体管结构。
线条边缘锐利，关键尺寸（cd）均一性极佳。
“线宽……38纳米单次曝光极限。”马丁喃喃自语，“这已经逼近了瑞利判据的物理极限。”
“如果配合SAqp自对准四重曝光技术，”旁边的ASmL首席科学家补充道，“理论上，我们可以把这就距缩小到10纳米以下。也就是7nm制程。”
“但这需要极高的套刻精度。”
“他们的算法里包含了非线性套刻补偿模型。”马丁指着数据日志，“你看，他们在计算掩膜版时，已经预判了晶圆在多次曝光过程中的热膨胀和机械形变，并提前做了反向补偿。”
“这是上帝视角。”
马丁转过身，看着站在玻璃窗外的林远，眼中没有了最初的怀疑，只剩下纯粹的技术敬畏。
他知道，ASmL引以为傲的光学壁垒，被中国人的算力暴力给凿穿了。
回到会议室，谈判进入了实质性阶段。
这一次，温彼得的态度发生了180度转弯。
“林先生，测试结果令人印象深刻。我们原则上同意成立联合实验室。”
“但是，关于合作模式……”
“双向授权。”林远直接给出了方案。
“1.联合研发实体： 在新加坡成立启明-ASmL计算光刻联合实验室。该实验室为独立法人，不受美国法律管辖。”
“2.数据不出境： ASmL的光源核心数据，只能在新加坡的离线服务器上使用，不得传输回中国大陆。同样，我们的AI模型核心代码，也只在实验室内运行。”
“3.商业分成： 开发出的女娲光刻软件，ASmL拥有海外独家销售权，启明联盟拥有中国区独家使用权。销售利润五五分成。”
“4.硬件支持：”林远盯着温彼得，“这是最关键的。我需要ASmL承诺，优先保障启明联盟成员企业如中芯、华虹的dUV光刻机零部件供应和维护服务。并且，在合规范围内，向我们出售最高配置的浸没式dUV光刻机（Nxt:2050i）。”
温彼得沉思了片刻。
这是一笔划算的买卖。ASmL不需要付出任何核心硬件技术，仅仅是开放了一些软件接口和光学参数，就能获得一套世界领先的AI光刻系统，还能稳住中国这个最大的客户。
“成交。”温彼得伸出手。
“不过，林先生，我要提醒你。”温彼得压低了声音，“就算有了这套软件，有了dUV。要做7nm，你们还缺一样东西。”
“什么？”
“光刻胶。”
“做多重曝光，对光刻胶的稳定性要求极高。目前，全球能生产ArF浸没式光刻胶的企业，只有日本的JSR、东京应化和信越化学。”
“而这些公司……”温彼得意味深长地看了一眼林远，“都在东和财团的控制之下。”
林远的瞳孔微微收缩。
又是东和财团。
又是那个女人。
只要是在半导体这个圈子里，似乎永远绕不开她编织的那张大网。
“谢谢提醒。”林远面色不变，“光刻胶的问题，我会解决。”
第四现场：国产化的最后一公里。
离开ASmL总部，林远在车上立刻召开了视频会议。
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